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文献
J-GLOBAL ID：200902106205653257
整理番号：99A0979377
6H-SiC表面の化学的蒸気クリーニング
Chemical Vapor Cleaning of 6H-SiC Surfaces.
KING S W
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
KERN R S
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
BENJAMIN M C
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
BARNAK J P
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
NEMANICH R J
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
,
DAVIS R F
(North Carolina State Univ., North Carolina, USA)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 146 号： 9 ページ： 3448-3454 発行年： 1999年09月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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