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文献
J-GLOBAL ID：200902106212829891
整理番号：98A0005086
AlGaAs合金の選択湿式酸化の発展
Advances in Selective Wet Oxidation of AlGaAs Alloys.
CHOQUETTE K D
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
GEIB K M
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
ASHBY C I H
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
TWESTEN R D
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
BLUM O
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
HOU H Q
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
FOLLSTAEDT D M
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
HAMMONS B E
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
HULL R
(Univ. Virginia, VA, USA)
資料名：
IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
(IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 3 号： 3 ページ： 916-926 発行年： 1997年06月
JST資料番号： W0734A ISSN： 1077-260X CODEN： IJSQEN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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