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J-GLOBAL ID：200902106368868285 整理番号：00A0123705

Micropattern Fabrication by Specially Designed Micro Tool.

著者 (2件)：

AOKI I

(Kanagawa Univ., JPN)

TAKAHASHI T

(Saitama Inst. Technol., JPN)

資料名：

Proceedings of SPIE (Proceedings of SPIE)

巻： 3874 ページ： 365-372 発行年： 1999年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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