文献
J-GLOBAL ID:200902106477779381
整理番号:99A0609634
有機金属化合物気相エピタキシーによるGaAsの積層成長中のエリプソメトリー振動の実時間観測
Real-Time Observation of Ellipsometry Oscillation during GaAs Layer by Layer Growth by Metalorganic Vapor-Phase Epitaxy.
著者 (3件):
LEE J-S
(Tsukuba Res. Consortium, Tsukuba, JPN)
,
SUGOU S
(Tsukuba Res. Consortium, Tsukuba, JPN)
,
MASUMOTO Y
(Tsukuba Res. Consortium, Tsukuba, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
38
号:
6A/B
ページ:
L614-L616
発行年:
1999年06月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)