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文献
J-GLOBAL ID：200902106582521608
整理番号：96A0470286
片持ち梁の変形を検出するための二個の光てこを持った走査型力顕微鏡
Scanning force microscopy with two optical levers for detection of deformations of the cantilever.
KAWAKATSU H
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
SAITO T
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 14 号： 2 ページ： 872-876 発行年： 1996年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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