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文献
J-GLOBAL ID：200902106732298015
整理番号：03A0107116
小さなソレノイドコイルを用いた渦電流法による直径140nmの分解能の導電率のマッピング
Conductivity Mapping with Resolution of 140 nm in Diameter by Eddy Current Method Using Small Solenoid Coil.
YAMAZAKI T
(Inst. of Physical and Chemical Res., Wako, JPN)
,
AONO M
(Inst. of Physical and Chemical Res., Wako, JPN)
資料名：
Materials Transactions
(Materials Transactions)
巻： 43 号： 12 ページ： 3217-3221 発行年： 2002年12月20日
JST資料番号： G0668A ISSN： 1345-9678 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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