文献
J-GLOBAL ID:200902106803884689
整理番号:01A0318258
多層誘電体コーティングの分光偏光解析法
Spectroscopic ellipsometry of multilayer dielectric coatings.
著者 (4件):
BHATTACHARYYA D
(Bhabha Atomic Res. Centre, Mumbai, IND)
,
SAHOO N K
(Bhabha Atomic Res. Centre, Mumbai, IND)
,
THAKUR S
(Bhabha Atomic Res. Centre, Mumbai, IND)
,
DAS N C
(Bhabha Atomic Res. Centre, Mumbai, IND)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
60
号:
4
ページ:
419-424
発行年:
2001年03月
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)