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文献
J-GLOBAL ID：200902107022676432
整理番号：96A0169145
GaAs上のエッチ誘起表面参照のプラズマ不動態化
Plasma passivation of etch-induced surface damage on GaAs.
KO K K
(Univ. Michigan, Michigan)
,
PANG S W
(Univ. Michigan, Michigan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 13 号： 6 ページ： 2376-2380 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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