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J-GLOBAL ID：200902107100204755 整理番号：93A0582843

スパッタで作製したTi-Ni形状記憶薄膜

Shape memory thin film of Ti-Ni formed by sputtering.

著者 (3件)：

ISHIDA A

(National Research Inst. Metals, Meguroku, JPN)

TAKEI A

(National Research Inst. Metals, Meguroku, JPN)

MIYAZAKI S

(Univ. Tsukuba, Ibaraki Prefecture, JPN)

資料名：

Thin Solid Films (Thin Solid Films)

巻： 228 号： 1/2 ページ： 210-214 発行年： 1993年05月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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