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文献
J-GLOBAL ID：200902107141889398
整理番号：02A0680182
ポリテトラフルオロエチレンのRfマグネトロンスパッタリングによるSi(100)表面上でのフルオロポリマ膜の蒸着
Deposition of Fluoropolymer Films on Si(100) Surfaces by Rf Magnetron Sputtering of Poly(tetrafluoroethylene).
ZHANG Y
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
YANG G H
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
KANG E T
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
NEOH K G
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
HUANG W
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
HUAN A C H
(National Univ. Singapore, Singapore)
,
WU S Y
(Inst. Microelectronics, Singapore)
資料名：
Langmuir
(Langmuir)
巻： 18 号： 16 ページ： 6373-6380 発行年： 2002年08月06日
JST資料番号： A0231B ISSN： 0743-7463 CODEN： LANGD5 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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