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文献
J-GLOBAL ID：200902107260879260
整理番号：01A0665610
気体用熱式半導体フローセンサの開発 サーモパイル測温体に適したHパターンエッチングホールについて
Silicon Thermal Sensor for Measurement of Airflow Velocity and Direction. Ideal Shape of Etching Hole for Flow Measurement with Thermocouples.
佐々木昌
(オムロン 中研)
,
若林秀一
(オムロン 中研)
,
藤原剛史
(オムロン 中研)
,
野添悟史
(オムロン)
資料名：
Omron Technics
(Omron Technics)
巻： 41 号： 2 ページ： 144-149 発行年： 2001年06月20日
JST資料番号： S0266A ISSN： 0474-1315 CODEN： OMTKA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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