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文献
J-GLOBAL ID：200902107279999640
整理番号：99A0413350
応力-誘起曲げによる低電圧マイクロ加工光スイッチ
A low voltage micromachined optical switch by stress-induced bending.
CHEN R T
(Lucas Varity Novasensor, CA)
,
NGUYEN H
(Univ. California at Los Angeles, CA)
,
WU M C
(Univ. California at Los Angeles, CA)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 12th ページ： 424-428 発行年： 1999年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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