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文献
J-GLOBAL ID：200902107298624657
整理番号：93A0731422
スパッタデプスプロフィルの深さ分解能に及ぼす結晶度の影響
Effects of Crystallinity on Depth Resolution in Sputter Depth Profiles.
HOESLER W
(Siemens AG, Muenchen, DEU)
,
PAMLER W
(Siemens AG, Muenchen, DEU)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 20 号： 8 ページ： 609-620 発行年： 1993年07月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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