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文献
J-GLOBAL ID：200902107392524410
整理番号：96A0286509
高アスペクト比のマクロパーヅを作製するための高分子のシンクロトロン放射マイクロマシニング
Synchrotron Radiation Micromachining of Polymers to Produce High-Aspect-Ratio Microparts.
ZHANG Y
(Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Tokyo, JPN)
,
KATOH T
(Sumitomo Heavy Ind., Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 35 号： 2A ページ： L186-L188 発行年： 1996年02月01日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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