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文献
J-GLOBAL ID：200902107596805737
整理番号：94A0025305
半導体加速度センサ
Silicon Piezoresistive Accelerometer.
西村仁
(フジクラ 基盤材研)
,
稲葉正俊
(フジクラ 基盤材研)
,
橋本広和
(フジクラ 基盤材研)
,
高橋克彦
(フジクラ 基盤材研)
,
国村智
(フジクラ 基盤材研)
,
永野僚治
(フジクラ)
,
滝沢功
(フジクラ)
資料名：
フジクラ技報
(Fujikura Technical Journal)
号： 85 ページ： 42-49 発行年： 1993年10月
JST資料番号： F0077A ISSN： 0912-2761 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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