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文献
J-GLOBAL ID：200902107766240608
整理番号：93A0819458
Epitaxial rare earth fluoride insulating layers on semiconductors: Structure, phase transitions, and interface reactions.
JENKINS L C
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
,
GRIFFITHS C L
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
,
HUGHES A
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
,
RICHARDS J
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
,
WILLIAMS R H
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 11 号： 4 ページ： 1541-1545 発行年： 1993年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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