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文献
J-GLOBAL ID：200902108257075211
整理番号：98A0329781
(111)シリコン上の窒化アルミニウムの成長 微細構造並びに界面構造
Growth of aluminum nitride on (111) silicon: Microstructure and interface structure.
BOURRET A
(CEA-Grenoble, Grenoble, FRA)
,
BARSKI A
(CEA-Grenoble, Grenoble, FRA)
,
ROUVIERE J L
(CEA-Grenoble, Grenoble, FRA)
,
RENAUD G
(CEA-Grenoble, Grenoble, FRA)
,
BARBIER A
(CEA-Grenoble, Grenoble, FRA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 83 号： 4 ページ： 2003-2009 発行年： 1998年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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