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文献
J-GLOBAL ID:200902108404862410   整理番号:01A1036254

透明非晶質有機薄膜のフェムト秒多段レーザエッチング

Femtosecond Multistep Laser Etching of Transparent Amorphous Organic Film.
著者 (6件):
HOSOKAWA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
YASHIRO M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
ASAHI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
MASUHARA H
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
KADOTA T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
SHIROTA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)

巻: 40  号: 10B  ページ: L1116-L1118  発行年: 2001年10月15日 
JST資料番号: F0599B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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