文献
J-GLOBAL ID:200902108404862410
整理番号:01A1036254
透明非晶質有機薄膜のフェムト秒多段レーザエッチング
Femtosecond Multistep Laser Etching of Transparent Amorphous Organic Film.
著者 (6件):
HOSOKAWA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
YASHIRO M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
ASAHI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MASUHARA H
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KADOTA T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SHIROTA Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
40
号:
10B
ページ:
L1116-L1118
発行年:
2001年10月15日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)