文献
J-GLOBAL ID:200902108412498795
整理番号:93A0897927
In situ ellipsometric study of the influence of powder formation on the initial growth of glow discharge a-Si:H.
著者 (3件):
SCHMIDT U I
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
SCHROEDER B
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
,
OECHSNER H
(Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
233
号:
1/2
ページ:
297-300
発行年:
1993年10月12日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)