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文献
J-GLOBAL ID：200902108418803190
整理番号：93A0277718
反応性イオンビームスパッタで形成したZr-N膜に対するイオン種の影響
Effects of Ion Species on Reactive-Ion-Beam-Sputtered Zr-N Films.
YOSHITAKE M
(Osaka Prefectural Industrial Technology Research Inst., Osaka)
,
NOSAKA T
(Osaka Prefectural Industrial Technology Research Inst., Osaka)
,
OKAMOTO A
(Osaka Prefectural Industrial Technology Research Inst., Osaka)
,
OGAWA S
(Osaka Prefectural Industrial Technology Research Inst., Osaka)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 32 号： 1A/B ページ： L113-L115 発行年： 1993年01月15日
JST資料番号： F0599B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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