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文献
J-GLOBAL ID：200902108870136975
整理番号：95A0210006
微細加工した空気結合コンデンサ形変換器の設計と特性評価
The Design and Characterization of Micromachined Air-Coupled Capacitance Transducers.
SCHINDEL D W
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
,
HUTCHINS D A
(Univ. Warwick, Coventry, GBR)
,
ZOU L
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
,
SAYER M
(Queen’s Univ., Ontario, CAN)
資料名：
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 42 号： 1 ページ： 42-50 発行年： 1995年01月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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