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文献
J-GLOBAL ID：200902108912549124
整理番号：96A0928110
Retardation modulated differential interference microscope and its application to 3-D shape measurement.
ISHIWATA H
(OLYMPUS Optical CO., Tokyo, JPN)
,
ITOH M
(Tsukuba Univ., Ibaraki, JPN)
,
YATAGAI T
(Tsukuba Univ., Ibaraki, JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2873 ページ： 21-24 発行年： 1996年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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