文献
J-GLOBAL ID:200902108936544417
整理番号:98A0306523
DCマグネトロンスパッタリングによるc-BN膜の蒸着
Deposition of c-BN films by DC magnetron sputtering.
著者 (5件):
KOUPTSIDIS S
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
LUETHJE H
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
BEWILOGUA K
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
SCHUETZE A
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
,
ZHANG P
(Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
7
号:
1
ページ:
26-31
発行年:
1998年01月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)