文献
J-GLOBAL ID:200902109020343986
整理番号:99A0497689
Ti(t-BuO)2(DPM)2を用いた液体原料CVDにより調製した(Ba,Sr)TiO3膜の等角段差被覆性
Conformal Step Coverage of (Ba,Sr)TiO3 Films Prepared by Liquid Source CVD Using Ti(t-BuO)2(DPM)2.
著者 (8件):
KAWAHARA T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
MATSUNO S
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
YAMAMUKA M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
TARUTANI M
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
SATO T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
HORIKAWA T
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
UCHIKAWA F
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
,
ONO K
(Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
38
号:
4B
ページ:
2205-2209
発行年:
1999年04月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)