文献
J-GLOBAL ID:200902109119995039
整理番号:01A0982319
磁気中性ループ放電プラズマ中の電子温度及び密度分布の実験及び数値分析
Experimental and numerical analyses of electron temperature and density distributions in a magnetic neutral loop discharge plasma.
著者 (5件):
OKRAKU-YIRENKYI Y
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
SUNG Y-M
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
OTSUBO M
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
HONDA C
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
SAKODA T
(Sojo Univ., Kumamoto, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
19
号:
5
ページ:
2590-2595
発行年:
2001年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)