文献
J-GLOBAL ID:200902109160807125
整理番号:03A0093757
薄膜誘電体キャラクタリゼーションのための二重変調示差THz-TDS
Double modulated differential THz-TDS for thin film dielectric characterization.
著者 (6件):
MICKAN S P
(Univ. Adelaide, SA, AUS)
,
LEE K-S
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
,
LU T-M
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
,
MUNCH J
(Univ. Adelaide, SA, AUS)
,
ABBOTT D
(Univ. Adelaide, SA, AUS)
,
ZHANG X-C
(Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
資料名:
Microelectronics Journal
(Microelectronics Journal)
巻:
33
号:
12
ページ:
1033-1042
発行年:
2002年12月
JST資料番号:
A0186A
ISSN:
0026-2692
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)