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文献
J-GLOBAL ID：200902109181522716
整理番号：02A0698092
コンパクトな電子ビーム励起プラズマ源を利用したダイヤモンド状炭素の蒸着
Deposition of Diamond-Like Carbon Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source.
TADA S
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
ITO M
(Wakayama Univ., Wakayama, JPN)
,
HAMAGAKI M
(Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN)
,
HORI M
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
GOTO T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 8 ページ： 5408-5414 発行年： 2002年08月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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