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文献
J-GLOBAL ID：200902109231535113
整理番号：01A1057819
高誘電率のアルミナ窓を使う表面波モードプラズマにおける灰化特性
Ashing Properties in a Surface-Wave Mode Plasma with a High-Permittivity Alumina Window.
SHINAGAWA K
(Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN)
,
SHINDO H
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
KUSABA K
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
KOROMOGAWA T
(Tokai Univ., Hiratsuka, JPN)
,
YAMAMOTO J
(Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN)
,
FURUKAWA M
(Canon Sales Co., Inc., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40 号： 10 ページ： 5856-5860 発行年： 2001年10月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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