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文献
J-GLOBAL ID:200902109426758150   整理番号:97A0400508

反応性プラズマスパッタリングで造った電気化学的ガスセンサ用の金-炭素複合薄膜

Gold-carbon composite thin films for electrochemical gas sensor prepared by reactive plasma sputtering.
著者 (5件):
OKAMOTO A
(Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
SUZUKI Y
(Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
YOSHITAKE M
(Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
OGAWA S
(Technology Res. Inst. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
NAKANO N
(RIKEN KEIKI Co. Ltd., Tokyo, JPN)

資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)

巻: 121  号: 1/4  ページ: 179-183  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: H0899A  ISSN: 0168-583X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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