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文献
J-GLOBAL ID：200902109431650723
整理番号：01A0238103
電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマCVDにより堆積したダイヤモンド状炭素/窒素化ダイヤモンド状炭素多層膜の破壊強さの改善
Fracture resistance enhancement of diamond-like carbon/nitrogenated diamond-like carbon multilayer deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition.
QI J
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
LAI K H
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
BELLO I
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
LEE C S
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
LEE S T
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
LUO J B
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
,
WEN S Z
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 19 号： 1 ページ： 130-135 発行年： 2001年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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