前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写(冊子体のコピー)をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID:200902109431650723   整理番号:01A0238103

電子サイクロトロン共鳴マイクロ波プラズマCVDにより堆積したダイヤモンド状炭素/窒素化ダイヤモンド状炭素多層膜の破壊強さの改善

Fracture resistance enhancement of diamond-like carbon/nitrogenated diamond-like carbon multilayer deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition.
著者 (7件):
QI J
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
LAI K H
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
BELLO I
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
LEE C S
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
LEE S T
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
LUO J B
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
WEN S Z
(Tsinghua Univ., Beijing, CHN)

資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻: 19  号:ページ: 130-135  発行年: 2001年01月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写(コピー)して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写(コピー)は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。