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文献
J-GLOBAL ID：200902109436361169
整理番号：97A0614663
シリコン微細加工スキャニングミラーによる2次元小型光学走査センサー
Two-dimensional miniature optical-scanning sensor with silicon micromachined scanning mirror.
IKEDA M
(OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
,
GOTO H
(OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
,
TOTANI H
(OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
,
SAKATA M
(OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
,
YADA T
(OMRON Corp. Central R&D Lab., Ibaraki Pref., JPN)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 3008 ページ： 111-122 発行年： 1997年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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