文献
J-GLOBAL ID:200902109561436200
整理番号:01A0329971
表面/全体微細加工された単結晶シリコンマイクロジャイロスコープ
Surface/Bulk Micromachined Single-Crystalline-Silicon Micro-Gyroscope.
著者 (5件):
LEE S
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
PARK S
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM J
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
LEE S
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
CHO D-I
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
9
号:
4
ページ:
557-567
発行年:
2000年12月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)