文献
J-GLOBAL ID:200902109707955558
整理番号:97A0770880
非接触のシリコン基板温度測定のためのパルス変調赤外レーザ干渉法による温度計測
Pulse-modulated infrared-laser interferometric thermometry for non-contact silicon substrate temperature measurement.
著者 (4件):
KIKUCHI J
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
,
FUJIMURA S
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
,
KUROSAKI R
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
,
YANO H
(Fujitsu Ltd., Kawasaki, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
15
号:
4
ページ:
2035-2042
発行年:
1997年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)