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J-GLOBAL ID：200902110062266289 整理番号：96A0018047

サイドエントリータイプ箔レンズを用いた球面収差補正による電子プローブ電流密度の増加

Increase of Current Density of the Electron Probe by Correction of the Spherical Aberration with a Side-Entry Type Foil Lens.

著者 (3件)：

HANAI T

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

ARAI S

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

HIBINO M

(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)

資料名：

Journal of Electron Microscopy (Journal of Electron Microscopy)

巻： 44 号： 5 ページ： 301-306 発行年： 1995年10月
JST資料番号： G0104A ISSN： 0022-0744 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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