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文献
J-GLOBAL ID：200902110124995550
整理番号：94A0079170
AFM studies of surface roughness of borophosphosilicate glass(BPSG) films and their impact on defect detection capability for sub micron VLSI technology.
ROJHANTALAB H
(Intel Corp., OR)
,
MOINPOUR M
(Intel Corp., CA)
,
PETER N
(Intel Corp., OR)
,
DASS M L A
(Intel Corp., CA)
,
HOUGH W
(Intel Corp., OR)
,
NATTER R
(Intel Corp., OR)
,
MOGHADAM F
(Intel Corp., CA)
資料名：
Evolution of Surface and Thin Film Microstructure
(Evolution of Surface and Thin Film Microstructure)
ページ： 147-151 発行年： 1993年
JST資料番号： K19930662 ISBN： 1-55899-175-1 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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