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J-GLOBAL ID：200902110292103516 整理番号：93A0472640

電子ビーム励起プラズマSNMS SNART(2)の開発

Development of an Electron-Beam-Excited Plasma SNMS SNART. (2).

著者 (2件)：

BRADLEY J W

(Inst. Physical and Chemical Research, Wako-shi, JPN)

KATO S

(Inst. Physical and Chemical Research, Wako-shi, JPN)

資料名：

真空 (Journal of the Vacuum Society of Japan)

巻： 36 号： 3 ページ： 266-270 発行年： 1993年03月
JST資料番号： G0194A ISSN： 0559-8516 CODEN： SHINA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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