文献
J-GLOBAL ID:200902110450629148
整理番号:99A0793320
‘オン-ザ-フライ’自動欠陥分類の使用による歩留向上
Using ‘on-the-fly’ automatic defect classification to enhance yields.
著者 (2件):
SKUMANICH A
(Applied Materials PDC Group)
,
OTT R
(White Oak Semiconductor)
資料名:
MICRO
(MICRO)
巻:
17
号:
6
ページ:
47-48,52,54,56,59
発行年:
1999年06月
JST資料番号:
D0679B
ISSN:
1081-0595
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)