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文献
J-GLOBAL ID：200902110459081927
整理番号：93A0856918
Coarser to finer inspection using 3-D data.
WANI M A
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
,
BATCHELOR B G
(Univ. Wales Coll. Cardiff, Cardiff, GBR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 2064 ページ： 236-244 発行年： 1993年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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