文献
J-GLOBAL ID:200902110500128668
整理番号:93A0724932
光促進有機金属化学蒸着の運動論的模型
A kinetic model for photoenhanced organometallic chemical vapour deposition.
著者 (2件):
SALZMAN J
(Technion-Israel Inst. Technology, Haifa, ISR)
,
MAAYAN E
(Technion-Israel Inst. Technology, Haifa, ISR)
資料名:
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻:
8
号:
6
ページ:
1094-1100
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
E0503B
ISSN:
0268-1242
CODEN:
SSTEET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)