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文献
J-GLOBAL ID：200902110617398054
整理番号：93A0697081
メタノールへのスピンガラスの溶解度に対するイオンビーム照射
Ion beam irradiation effect on solubility of spin-on glass to methanol.
YANAGISAWA J
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KOH Y-B
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
GAMO K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 80/81 号： Pt 2 ページ： 1128-1131 発行年： 1993年06月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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