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文献
J-GLOBAL ID：200902110670860711
整理番号：99A0772521
電子サイクロトロン共鳴プラズマ流中の基板の前面でHe準安定原子密度分布のレーザ誘起蛍光分光法による二次元測定
Two-Dimensional Measurement of He Metastable Atom Density Profile in Front of Substrate in Electron Cyclotron Resonance Plasma Flow by Laser-Induced Fluorescence Spectroscopy.
WATANABE M
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
TAKIYAMA K
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
TOYOTA H
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
,
ODA T
(Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 38 号： 7B ページ： 4380-4382 発行年： 1999年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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