文献
J-GLOBAL ID:200902111088851933
整理番号:93A0596432
AuおよびSiO2の間の反応性スパッタZrN障壁膜 表面および界面分析
Reactively sputtered ZrNx barrier films between Au and SiO2: surface and interface analysis.
著者 (6件):
POPOVI<span style=text-decoration:overline>C ́</span> N
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
,
MILI<span style=text-decoration:overline>C ́</span> M
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
,
NENADOVI<span style=text-decoration:overline>C ́</span> T
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
,
BOGDANOV Z
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
,
GONCI<span style=text-decoration:overline>C ́</span>B
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
,
ZLATANOVI<span style=text-decoration:overline>C ́</span> M
(Inst. Nuclear Science “Vinca”, Belgrade, YUG)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
70/71
号:
Pt B
ページ:
483-487
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)