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文献
J-GLOBAL ID：200902111105158970
整理番号：02A0840142
化学的・機械的研磨における流体圧とその影響
Fluid pressure and its effects on chemical mechanical polishing.
ZHOU C
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
SHAN L
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
HIGHT J R
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
NG S H
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
,
DANYLUK S
(Georgia Inst. Technol., GA, USA)
資料名：
Wear
(Wear)
巻： 253 号： 3/4 ページ： 430-437 発行年： 2002年08月
JST資料番号： E0377A ISSN： 0043-1648 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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