文献
J-GLOBAL ID:200902111105711016
整理番号:99A0737145
Pt/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/Pt強誘電体キャパシタのエッチングで損傷を受けた層の特性化と除去
Characterization and elimination of dry etching damaged layer in Pt/Pb(Zr0.53Ti0.47)O3/Pt ferroelectric capacitor.
著者 (4件):
LEE J K
(Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR)
,
KIM T-Y
(Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR)
,
CHUNG I
(Samsung Advanced Inst. Technol., Suwon, KOR)
,
DESU S B
(Virginia Polytechnic Inst. State Univ., Virginia)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
75
号:
3
ページ:
334-336
発行年:
1999年07月19日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)