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文献
J-GLOBAL ID：200902111319279200
整理番号：99A0782711
MEMSのための新しい機能性セラミック堆積法
New Functional Ceramic Deposition Method for MEMS.
AKEDO J
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
,
ICHIKI M
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
資料名：
Ferroelectrics
(Ferroelectrics)
巻： 224 号： 1/4 ページ： 759-765 発行年： 1999年03月
JST資料番号： D0777A ISSN： 0015-0193 CODEN： FEROA8 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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