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文献
J-GLOBAL ID:200902111319279200   整理番号:99A0782711

MEMSのための新しい機能性セラミック堆積法

New Functional Ceramic Deposition Method for MEMS.
著者 (3件):
AKEDO J
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
ICHIKI M
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)
MAEDA R
(S.I.S.T./M.I.T.I., Ibaraki, JPN)

資料名:
Ferroelectrics  (Ferroelectrics)

巻: 224  号: 1/4  ページ: 759-765  発行年: 1999年03月 
JST資料番号: D0777A  ISSN: 0015-0193  CODEN: FEROA8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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