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文献
J-GLOBAL ID：200902111384804967
整理番号：99A0504605
ガラス基板上のCr薄膜のKrFエキシマレーザアブレーション
KrF excimer laser ablation of thin Cr film on glass substrate.
LEE S K
(Korea Inst. Machinery and Materials)
,
NA S J
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol.)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 68 号： 4 ページ： 417-423 発行年： 1999年04月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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