文献
J-GLOBAL ID:200902111495081107
整理番号:93A0513637
蒸着させた後のダイヤモンドのエッチング
Post-depositional diamond etching.
著者 (3件):
BACHMANN P K
(Phillips Research Lab., Aachen, DEU)
,
LEERS D
(Phillips Research Lab., Aachen, DEU)
,
WIECHERT D U
(Phillips Research Lab., Aachen, DEU)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
2
号:
5/7
ページ:
683-693
発行年:
1993年04月13日
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)