文献
J-GLOBAL ID:200902111616047424
整理番号:00A0729122
小形ワイドレンジ冷陰極真空計
Compact wide-range cold-cathode gauges.
著者 (2件):
KENDALL B R F
(Elvac Lab., Pennsylvania)
,
DRUBETSKY E
(Televac Div. Fredericks Co., Pennsylvania)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
18
号:
4,Pt.2
ページ:
1724-1729
発行年:
2000年07月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)