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文献
J-GLOBAL ID:200902111655139131   整理番号:95A0568876

RF CH3OHプラズマとμ波H2/H2Oプラズマを用いたダイヤモンド薄膜の形成 H2O分圧依存性

Diamond Film Formation Using RF CH3OH Plasma CVD Assisted by Microwave H2/H2O Plasma.
著者 (7件):
水野悦子
(名城大 理工)
山田浩二
(名城大 理工)
平松美根男
(名城大 理工)
縄田正人
(名城大 理工)
池田雅延
(名古屋大 工)
堀勝
(名古屋大 工)
後藤俊夫
(名古屋大 工)

資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

巻: 42nd  号: Pt 2  ページ: 372  発行年: 1995年03月 
JST資料番号: Y0054A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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