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文献
J-GLOBAL ID：200902111878416366
整理番号：98A0640925
進歩した誘電応用のための五酸化タンタル(Ta2O5)薄膜
Tantalum pentoxide(Ta2O5) thin films for advanced dielectric applications.
CHANELIERE C
(Inst. National des Sci. Appliqu<span style=text-decoration:overline>e ́</span>es de Lyon, Villeurbanne, FRA)
,
AUTRAN J L
(Inst. National des Sci. Appliqu<span style=text-decoration:overline>e ́</span>es de Lyon, Villeurbanne, FRA)
,
DEVINE R A B
(France-Telecom, Meylan, FRA)
,
BALLAND B
(Inst. National des Sci. Appliqu<span style=text-decoration:overline>e ́</span>es de Lyon, Villeurbanne, FRA)
資料名：
Materials Science & Engineering. R. Reports
(Materials Science & Engineering. R. Reports)
巻： R22 号： 6 ページ： 269-322 発行年： 1998年05月25日
JST資料番号： T0341A ISSN： 0927-796X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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